RF Generator
iGen series Line up
iGen0206 iGen0210 iGen0406 iGen0410 iGen1303 iGen1306 iGen1310 iGen1320
Frequency 2Mhz ±50ppm 4Mhz ±50ppm 13.56Mhz ±50ppm
Max.Output
Power
600W 1,000W 600W 1,000W 300W 600W 1,000W 2,000W
Max.Reflect
Power
70W 100W 60W 100W 30W 60W 100W 200W
Input
Voltage
1Φx100~240VAC
50/60Hz
1Φx100~240VAC
50/60Hz
1Φx100~240VAC
50/60Hz
1Φx200~240VAC
50/60Hz
1Φx100~240VAC
50/60Hz
1Φx200~240VAC
50/60Hz
3Φx200~240VAC
50/60Hz
Current Max. 10Amp Max. 20Amp Max. 10Amp Max. 20Amp Max. 10Amp Max. 20Amp
Cooling Forced Air Water Cooled
Control I/O Analog, RS232
Output
Connector
Coaxial N Type Coaxial HN Type
Harmonics <-50dBc (50ohm Load)
Dimensions
(W x H x L)
240x177x423
(mm)
240x177x485
(mm)
240x177x423
(mm)
483x133x550
(mm)
240x177x423
(mm)
240x177x483
(mm)
483x133x550
(mm)
Weight 9.2kg 10kg 9.2kg 18kg 7.5kg 9.2kg 10kg 21kg
특징
- 고효율의 LDMOS 사용
- 고속 정밀 DSP 제어 기술 적용
- 안정적인 출력
- 부하 급변화에 대한 빠른 대응
장점
- 높은 성능의 좋은 품질
- 편리한 인터페이스
- 출력 효율의 증가
- 유지 보수 및 수리에 대한 비용 절감
응용
- 산화물 또는 금속류의 스퍼터링
- OLED 공정전 전처리
- 산화물 또는 금속류의 식각
- 반응성 스퍼터링
- 대기압 플라즈마
- 반응성 이온 식각
- 의료용 고주파 가열
- 고주파 유도 가열
Matching Network
iMat series Line up
Frequency 400KHz 2MHz 4MHz 13.56MHz 27.12MHz 40MHz 60MHz
Power
Range
600W
1,000W
1,500W
3,000W
5,000W
10kW
30kW
Cooling Method   
iMatR430L iMat0240L iMat0440L iMat1310L iMat1330L iMat1340L iMat1350L iMat1375L iMat13175L
Operating
frequencv
400KHz 2MHz 4MHz 13.56MHz
Nominal
Power
1KW 1KW 1KW 600KW 1KW 1.5KW 3KW 5KW 10KW
Max.Power Depends on the Load impedance
Max.load
Current
30A 40A 40A 10A 30A 40A 50A 75A 175A
Cooling Forced Air Water Cooled
Input
Connector
N Type HN or 7/16” DIN Type
Output
Connector
N or HN or 7/16” Din or Multi Contact Type Customized or Multi Contact Type
Control
System
iMat LOGIC Control Software
Interfaces RS232
Dimensions
(W x H x L)
402x270x200
(mm)
370x240x188
(mm)
410x234x225
(mm)
370x280x130
(mm)
370x240x188
(mm)
520x550x305
(mm)
Weight 8.5kg 8.5kg 9kg 7kg 8.5kg 9kg 10kg 36kg
디지털 방식의 자동 정합 장치
- Step Motor System
- 자기 진단으로 캐패시터의 위치 및 오류 보정
사용자 중심의 소프트웨어
- LogicMAT Consol program
- 프리셋 모드는 모든 공정에 최적화
- load / tune 캐패시터의 각각의 설정 및 위치값을 제공
간단한 디자인
- 고객 요청에 의한 제작 가능
- 내구성이 있고 직관적인 디자인
- EMI 차폐를 위한 Honeycomb 구조의 필터 장착
- 모듈 설계로 인하여 관리 및 유지 보수가 쉬움
제품군
- 저주파부터 고주파까지의 다양한 주파수 매칭
- 600W에서 30kW까지의 다양한 제품군
- 고객 주문사양에 맞게 제작 가능
- RF와 DC의 동시 사용할 수 있는 하이브리드형 매칭박스 제공
i-MAT 소프트 웨어 구성도
옵션 (Remote Controller)
RF Select Switch
i-Switch series 사양
- 주파수 : 400kHz ~ 60MHz
- 채널 : 최대 4채널
- 최대 파워 : 1~3kw
- 최대 전류 : 주파수에 따라 변동
- 인터페이스 : A/D 9핀
- 입력전원 : DC 24VDC
- 입력 컨넥터 : HN, 7/16"DIN
- 출력 컨넥터 : HN, 7/16"Din, Multi-Contact
개요
RF Select Switch는 하나 또는 다른 주파수 RF발생기의 전력 공급과 플라즈마 발생하는 각각의 챔버에 선택적으로 전원을 제공하기 위한 전원 분배 장치이다.
고객의 사양에 따라 선택 적용할 수 있습니다. (사용시 제품 문의 바람)
RF Blocking Filter
i-Filter series
개요
RF Blocking Filter는 RF 와 DC 전원 장치를 한 소스에 사용 할 때, RF 주파수로부터 DC 파워의 내부 소자들을 보호하기 위해서 사용 하는 구성품입니다.
사양
- 주파수 : 13MHz~ 60MHz
- 전류 : DC 전원 장치에 따라
- 입력 컨넥터 : M-type
- 출력 컨넥터 : HN, 7/16"DIN, Multi-Contact
RF 악세사리
RF & DC 전원 장치의 케이블
RF-393/U 동축 케이블 (주문제작도 가능)
Model Coax cable Length Connector side A Connector side B
CCTO75-NN RG-393/U 0.75m N N
CCTO75-NH RG-393/U 0.75m N HN
CCT15-NH RG-393/U 1.5m N HN
CCT15-ND RG-393/U 1.5m N 7/16"DIN
CCT38-ND RG-393/U 3.8m N 7/16"DIN
CCT176-HH RG-393/U 7.6m HN HN
CCT114-HH RG-393/U 11.4m HN HN
CCT152-HD RG-393/U 15.2m HN 7/16"DIN
CCT152-DD RG-393/U 15.2m 7/16"DIN 7/16"DIN
RF-213/U 동축 케이블 (주문제작 가능)
Model Coax cable Length Connector side A Connector side B
CCP36-NN RG-213/U 3.6m N N
CCP36-NH RG-213/U 3.6m N HN
CCP72-NH RG-213/U 7.2m N HN
CCP72-ND RG-213/U 7.2m N 7/16"DIN
CCT38-ND RG-213/U 10.8m N 7/16"DIN
CCP72-HH RG-213/U 7.2m HN HN
CCP108-HH RG-213/U 10.8m HN HN
CCP144-HD RG-213/U 14.4m HN 7/16"DIN
CCP144-DD RG-213/U 14.4m 7/16"DIN 7/16"DIN
RF-218/U 동축 케이블 (주문제작 가능)
Model Coax cable Length Connector side A Connector side B
CCTG144-DL RG-218/U 14.4m 7/16"DIN LC
CCTG144-LL RG-218/U 14.4m LC LC