MF Power
주요 특징 및 장점
- 공정 특성에 맞춤 제작되어 외부의 트렌스가 필요 없이 설계 되어있습니다.
- 공랭식이며, 습기 또는 결로 현상의 따른 문제가 없습니다.
- 주위 온도가 최대 40°C 이내에서 최대 출력 사용 가능.
- 고객 요청에 따라 다양한 인터페이스 구현 가능
- 전면 패널 설치로 실시간 모니터링 가능
- 높은 효율 > 90%
- 소형 및 경량화 구현
- 공랭식이며, 습기 또는 결로 현상의 따른 문제가 없습니다.
- 주위 온도가 최대 40°C 이내에서 최대 출력 사용 가능.
- 고객 요청에 따라 다양한 인터페이스 구현 가능
- 전면 패널 설치로 실시간 모니터링 가능
- 높은 효율 > 90%
- 소형 및 경량화 구현
응용 분야
BDS-MF10K는 40kHz를 사용 하는 AC 플라즈마 전원 장치입니다.
2500 ~ 5000V의 출력 전압 사용이 가능 하며, 600~2500Ohm 임피던스 수준에서 10kW 의 출력을 사용 할 수 있습니다.
이 제품은 두 개의 전극을 사용하는 대형 챔버 PECVD 시스템에 맞춤 설계되어 있습니다.
통상적으로 2개의 공정에서 사용합니다.
- 플라즈마 전압이 2500 ~ 3500V에서 아르곤 또는 산소 가스를 사용 하여 플라즈마 세정 처리를 하는 공정에서 사용합니다.
- HMDSO 가스를 사용 하여 증착하는 공정에서 사용하며, 때때로 아르곤 또는 산소가스를 섞어 쓰기도 합니다. HMDSO 가스는
일반적으로 저항값이 높기 때문에 3500 ~ 5000V 의 전압을 사용합니다.
2500 ~ 5000V의 출력 전압 사용이 가능 하며, 600~2500Ohm 임피던스 수준에서 10kW 의 출력을 사용 할 수 있습니다.
이 제품은 두 개의 전극을 사용하는 대형 챔버 PECVD 시스템에 맞춤 설계되어 있습니다.
통상적으로 2개의 공정에서 사용합니다.
- 플라즈마 전압이 2500 ~ 3500V에서 아르곤 또는 산소 가스를 사용 하여 플라즈마 세정 처리를 하는 공정에서 사용합니다.
- HMDSO 가스를 사용 하여 증착하는 공정에서 사용하며, 때때로 아르곤 또는 산소가스를 섞어 쓰기도 합니다. HMDSO 가스는
일반적으로 저항값이 높기 때문에 3500 ~ 5000V 의 전압을 사용합니다.
Pulse DC Power
Pulsed Power Supplies
마그펄스의 펄스 제품은 반응성 코팅 및 금속 코팅을 하기 위한 알맞은 전원 장치이며, 재현성, 균일성 및 뛰어난 품질을 코팅하기 위해 설계되어져 있습니다.
주요 특성 및 장점
- 아크에 의한 기판의 데미지를 감소
- 필름 특성 결정의 밀도, 강도, 밝기 향상
- 입자의 오염 감소
- 보다 높은 파워 작동
- 보다 높은 이온 에너지
- 보다 낮은 서브스트레이트의 온도
- 보다 낮은 타겟의 온도
- 프로세스의 유연성 및 위도
- 쉬운 직접 회로 시스템
- 넓은 프로세서가 가능하고, 타켓의 오염을 감소
- 반응 및 금속 공정에서 증착 및 수율 속도를 향상
- 아킹을 감소 시키거나 제거함으로써 증착 시간을 늘림
MAGPULS-UP 제품은 바이어스 애플리케이션의 다양한 요구 사항을 위해 디자인 된 특별한 장치입니다.
- 플라즈마 PVD
- 플라즈마 CVD
- 플라즈마 질화
- 단일 마그네트론 스퍼터링
DC 전력 사용 시 사용 가능한 출력 파워는 1kw ~ 300kw 까지 이며, 순간 최대 전류는 3A ~ 1000A 까지 사용 할 수 있습니다.
- 필름 특성 결정의 밀도, 강도, 밝기 향상
- 입자의 오염 감소
- 보다 높은 파워 작동
- 보다 높은 이온 에너지
- 보다 낮은 서브스트레이트의 온도
- 보다 낮은 타겟의 온도
- 프로세스의 유연성 및 위도
- 쉬운 직접 회로 시스템
- 넓은 프로세서가 가능하고, 타켓의 오염을 감소
- 반응 및 금속 공정에서 증착 및 수율 속도를 향상
- 아킹을 감소 시키거나 제거함으로써 증착 시간을 늘림
MAGPULS-UP 제품은 바이어스 애플리케이션의 다양한 요구 사항을 위해 디자인 된 특별한 장치입니다.
- 플라즈마 PVD
- 플라즈마 CVD
- 플라즈마 질화
- 단일 마그네트론 스퍼터링
DC 전력 사용 시 사용 가능한 출력 파워는 1kw ~ 300kw 까지 이며, 순간 최대 전류는 3A ~ 1000A 까지 사용 할 수 있습니다.
Dual Power
Pulsed Power Supplies
마그펄스 바이폴라 제품 라인은 양극성 펄스 DC와 함께 다양한 출력 모드를 제공하고,
단일 또는 이중의 스퍼터링에 적용 가능한 제품으로 출력 전력은 1kW 에서 300kw 그리고 순간 최대 전류는 5A에서 1000A까지
사용할 수 있게 디자인 되어 있습니다.
단일 또는 이중의 스퍼터링에 적용 가능한 제품으로 출력 전력은 1kW 에서 300kw 그리고 순간 최대 전류는 5A에서 1000A까지
사용할 수 있게 디자인 되어 있습니다.
양극성 펄스 기술과 적용 분야
- 플라즈마 클리닝
- 플라즈마 에칭
- 플라즈마 PVD
- 플라즈마 CVD
- 단일 및 이중 음극 스퍼터링
- 플라즈마 중합
- 플라즈마 에칭
- 플라즈마 PVD
- 플라즈마 CVD
- 단일 및 이중 음극 스퍼터링
- 플라즈마 중합
PEM
플라즈마 모니터링, 플라즈마 분석, 플라즈마 제어 시스템을 원활하게하기 위한 장치
제품 구성도
제품 구성품
1) Emicon
중요 설명
(1) Multi-Channel 셋업
- 멀티 프로세스 챔버 응용
- 멀티 프로세스 챔버 응용
(2) 스펙트럼의 폭넓은 모니터링
- 고급 플라즈마 프로세스 분석
- 솔리드 플라즈마 처리 제어
(3) Set-point 기능
- 종점 검출
- 품질 제어
(4) 고급 PID 제어
- 반응성 증착 장비 적용
(5) 레시피 관리
- 멀티 프로세스 전환
- 멀티 레이저 프로세스
(6) EMICON 소프트웨어
- 실시간 작업
- 모든 플라즈마 작업에 응용 가능
- 레시피 관리
- 트리거 기능
- 아날로그/디지털 시스템으로 출력 제어
- 시스템 통합을 위한 소프트웨어 인터페이스
- 관리자/유저 모드
- 사용하기 쉬운 소프트웨어
- 윈도우 소프트웨어
- 업데이트 지원
- 멀티 프로세스 챔버 응용
- 멀티 프로세스 챔버 응용
(2) 스펙트럼의 폭넓은 모니터링
- 고급 플라즈마 프로세스 분석
- 솔리드 플라즈마 처리 제어
(3) Set-point 기능
- 종점 검출
- 품질 제어
(4) 고급 PID 제어
- 반응성 증착 장비 적용
(5) 레시피 관리
- 멀티 프로세스 전환
- 멀티 레이저 프로세스
(6) EMICON 소프트웨어
- 실시간 작업
- 모든 플라즈마 작업에 응용 가능
- 레시피 관리
- 트리거 기능
- 아날로그/디지털 시스템으로 출력 제어
- 시스템 통합을 위한 소프트웨어 인터페이스
- 관리자/유저 모드
- 사용하기 쉬운 소프트웨어
- 윈도우 소프트웨어
- 업데이트 지원
2) 광학
플렌지
광학 진공 내부와 외부를 연결
광섬유 콜리메이터 광학계
광전용 진공용 피드쓰루
직선과 직각 광학 헤드
코팅 보호 광학
광섬유 콜리메이터 광학계
광전용 진공용 피드쓰루
직선과 직각 광학 헤드
코팅 보호 광학
3) SpecLine 소프트웨어
설명
- 스펙트럼 데이터를 쉽게 얻을 수 있다.
- 스펙트럼 라인을 즉시 확인
- 분자를 포함한 고유 데이터베이스
- 데이터베이스 업데이트는 최신 데이터를 보증
- 스펙트럼 데이터로 작업하는 모든 과학자와 엔지니어를 위한 눈에 보이는 도구
- 스펙트럼 라인을 즉시 확인
- 분자를 포함한 고유 데이터베이스
- 데이터베이스 업데이트는 최신 데이터를 보증
- 스펙트럼 데이터로 작업하는 모든 과학자와 엔지니어를 위한 눈에 보이는 도구
주문 제작
필요로 하시는 Power Supply 의 주문 제작도 가능합니다.
DC Power Spec (Voltage : 50V, Current : 200A)
